近红外大口径(600mm)相移平面干涉仪
“近红外大口径相移平面干涉仪”是一台光、机、电、算相结合，融硬、软件于一体的高精度、智能化、多功能、实时处理的大型测试仪器。
光机型干涉仪采用菲索型，光源为可调节近红外激光器。干涉图由近红外CCD接收，在监视器上实时显示，同时输入到图像捕获器转化成8bit的数字干涉图，工计算机处理。
仪器配有下列软件包：（一）相移干涉技术复原波面软件包，（二）Zernike多项式分析软件包，（三）波面分析与评价软件，（四）绘图和列表输出软件包。还配有数字滤波分析（低通、带通、高通）、PSD等特性参数计算、Seidel像差分析功能软件包。
仪器规格参数表：
光源
可调谐半导体激光器λ=1055nm
类型
菲索型干涉仪
倍率
1X、2X、3X独立变倍，或1X-6X连续变倍
精度
PV优于λ/15（λ=1055nm）
测试重复性
1nm（1σ）
测试参数
峰谷值PV/标准方差RMS、波前梯度均方根GRMS、功率谱密度PSD、Zernike多项式系数、Seidel像差系数、点列图、点扩散函数PSF、调制传递函数MTF等