Hi-Marc300W型激光干涉仪
主要特点：
1.平面面形精度、均匀度和平行度测量；激光棒的测量
2.平面参考面面形精度：λ/10
3.适用于工厂、研究院和高校等对光学元件的高精度检测
4.采用光、机、电、算结合的系统软件，可打印检测报告
仪器规格参数表：
光源
进口氦氖激光器 波长λ=632.8nm
类型
菲索型干涉仪
有效光束直径
φ=300mm
显示
22寸液晶显示器
精度
平面PV优于λ/10、RMS优于λ/200
测试参数
峰谷值PV/标准方差RMS、波前梯度均方根GRMS、功率谱密度PSD、Zernike多项式系数、Seidel像差系数、点列图、点扩散函数PSF、调制传递函数MTF等
倍率
1-6倍
电源
220V 55Hz
可选附件
英特飞移相式数据处理软件