一、前言

  激光干涉仪大多用于测量光学元件或其他精密器件的测量，而为了应对不同环境和应用的需求，精密光学加工也越来越：“内卷”，因此，对于精密元件的面型测量也出现了很多新技术。其中动态干涉仪首当其冲。

 动态干涉仪使用独有的瞬时相位传感器，即使有振动和环境噪音，仍能极其精确地测量表面形状。

二、“经久不衰”的移相式激光干涉仪

 经典移相式菲索激光干涉仪，有一个移相采样过程。通过压电陶瓷推动标准镜来完成相位移动，即为“移相”。通过算法对CCD采集的不同相位的条纹光强图计算得出相位（三维高度）图。

 作为测量相位的经典方式，自然有着不可替代的方面，移相式激光干涉拥有目前最高的采样精度以及分辨率。

 而拥有最高精度的同时也对测量环境提出了很高的要求：

（一）环境的影响

 作为移相干涉束的最大限制，对于外界环境的振动以及空气湍流极为敏感，因为移相干涉测量的数据帧是按时间顺序获取，间隔超过数百毫秒。在这段采集时间中，振动以及空气湍流会导致数据发生不可预测的相移，导致测量精度降低，在环境恶劣的情况下，甚至无法测量。

（二）被测件的不稳定

 在长时间的采集时间中，被测件会在卡扣不紧的情况下，发生微小的移动，对相位的移动造成影响，最终导致测量结果产生误差。

三、“出陈易新”的动态干涉仪

 对于一些在传统意义上难以或不可能使用时相移位仪器的测量，动态干涉仪可以轻松的应对。动态系统可以在没有光学气浮平台的车间里使用，或者在具有嘈杂的泵和空气处理机的洁净室中，仍然能够完成精确测量。

       动态干涉测量，严格意义上是指多次瞬态测量的集合，以反映样品的实时变化。所谓瞬态，则是采用高速微秒级快门，只取一帧干涉条纹图，在干涉腔的状态定格在一瞬间，去除环境扰动以及被测件不稳定带来的影响。

 当前市场上，主要有两种瞬态采样及分析方式，基于倾斜条纹载波法，以及偏振移相方式。这两种方式都可以实现，单帧干涉条纹图的相位解析；都采用了“空间”换“时间”的方法，将经典移相过程从时域上转变到了空间域上。

       英特飞的动态干涉仪采用偏振移相的瞬态采样方法。基于偏振光的干涉原理产生干涉图像，利用微偏振阵列对捕获的干涉图像进行空间编码，有0、90、180和270度四种相位偏移，从而实现单帧定量相位测量。    

四、竞争优势

（一）大功率激光器

 高功率的激光器在干涉仪中可以使光路清晰可见，能够给对点带来极大的方便，即使测量光路中具有多个反射镜，也能够表现出极佳的光斑，以提高条纹对比度。我们的动态干涉仪激光功率动态范围大，最低可至5uw，最高可至33mw。

光斑对比图

（二）可变倍动态干涉仪

 变倍系统，可以对干涉成像精准实时的变倍，使得干涉图像具有大视野、高分辨率，我们的动态干涉仪加装了变倍系统（1X-1.6X），可以在一定范围内调整镜头的焦距，扩大视场，提高分辨率，满足高精度定位检测的条件。