Smarc 激光干涉仪
该仪器调整方便,特别适用于小平面、球面在线快速检测
主要特点:
1.调整架XY轴调节范围10mm(+/-5mm)Z轴调节范围130mm
2.平面参考面形精度:λ/20
3.球面参考面形精度:λ/10 λ/20
仪器规格参数表:
光源 |
半导体激光器 波长λ=635nm(激光器保修1.5年) |
类型 |
菲索型干涉仪 |
有效光束直径 |
φ=25mm |
显示 |
15寸液晶监视器 |
选配镜头 |
F/# 0.6、0.7、1.0、1.5、2.0、3.0、5.0、平面镜 |
尺寸 |
260×160×300mm |
重量 |
6.5Kg |
电源 |
220V 55Hz |
可选附件 |
在线式数字条纹分析系统、隔振台 |