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Hi-Marc60-T激光干涉仪

发布时间:2022-08-11 14:08:20 阅读:1049


主要特点:

1.平面面形测量(非镀膜表面、高反射率镀膜表面)

2.棱镜条大面面形测量

3.微棱镜大面面形测量



仪器规格参数表:



光源

半导体激光器 波长λ=635nm(激光器保修1.5年)

干涉仪主口径

φ=60mm

有效测量口径

椭圆长轴120mm、短轴60mm

光学质量

λ/10(平面系统 95%口径 P-V

测量重复性

PV优于λ/50RMS优于λ/100

尺寸

940×720×910mm

重量

80Kg

电源

220V 55Hz

数据分析

英特飞移相式数据处理软件