Marc100D型激光干涉仪
该仪器调整方便，特别适用于各类平面、球面光学元件在线快速检测
主要特点：
1.调整架XY轴调节范围10mm（+/-5mm）Z轴调节范围1050mm
2.平面参考面形精度：λ/20
3.球面参考面形精度：λ/10 λ/15
4.自带隔振器
仪器规格参数表：
光源
进口氦氖激光器 波长λ=632.8nm
类型
菲索型干涉仪
有效光束直径
φ=100mm
显示
22寸液晶显示器
选配镜头
F/# 0.75、1.5、3.3、5.0、7.0、11.0、平面镜
倍率
1-6倍
尺寸
1000×520×1815mm
电源
220V 55Hz
可选附件
光栅测长系统、二维调节架、英特飞移相式数据处理软件