Bysco100
发布时间:2022-10-26 17:10:09 阅读:1097 次
Bysco 100卧式激光干涉仪适用于高精度计量检测、超大口径干涉仪的小端口主机等应用场合,可对平晶、透镜面形精度、均匀度和平行度的测量以及激光棒的测量。
仪器规格参数表:
类型 |
菲索型干涉仪 |
光源 |
氦氖激光器λ=632.8nm/波长调谐激光器 |
测量口径 |
φ=100mm |
移相方式 |
标配PZT移相、可选波长调谐、偏振移相 |
相机分辨率 |
1K、2K、4K可选 |
灰度等级 |
8Bit、12Bit |
测量精度 |
平面PV优于λ/20,球面PV优于λ/15 |
RMS重复性 |
<λ/5000 |
有效显示倍率 |
1-6倍 |
可选附件 |
移相式数据分析处理软件、光学气浮平台、五维调节架及三爪、标准镜头 |