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光学检测仪和激光干涉仪
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主要特点：
波长特殊：采用3.9μm高功率红外光源；
双光路结构：具备Φ30mm和Φ150mm双端口光路，Φ30mm测量小球面和小平面，Φ150mm测量大凸球面和大平面；
高品质扩束系统；
液氮制冷，提高精度。
仪器规格参数表:
| 光源 |
3.39μm高功率红外光源 |
| 类型 | 索菲型干涉仪 |
| 移相方式 | PZT移相 |
| 仪器有效口径 |
小端口Φ30mm，大端口Φ150mm |
| 光学变倍 | 1×~6× |
| 相机细节 | 分辨率640×512，采集帧率30Hz |
| 测量精度 |
平面＜λ/10,球面λ/20 |
| RMS波前重复性 | 优于λ/10000 |
| 重量 | 80Kg |
| 尺寸 | 1150mm×510mm×600mm |
| 测试软件 | 英特飞移相式数据分析处理软件 |
南京英特飞光电技术有限公司
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