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光学检测仪和激光干涉仪
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主要特点：
波长特殊：采用10.6μm高功率红外光源；
双光路结构：具备Φ40mm和Φ150mm双端口光路，Φ40mm测量小球面和小平面，Φ150mm测量大凸球面和大平面；
高品质扩束系统。
仪器规格参数表：
| 光源 |
10.6μm高功率红外光源 |
| 类型 | 菲索型干涉仪 |
| 移相方式 | 动态载频/PZT移相 |
| 仪器有效口径 |
小端口Φ40mm，大端口Φ150mm |
| 光学变倍 | 1×~4× |
| 相机细节 | 分辨率1024×1024像素，采集帧率30Hz |
| 测量精度 |
静态＜λ/10,移相＜λ/30 |
| RMS波前重复性 | 静态＜λ/1000,移相＜λ/10000 |
| 重量 | 80Kg |
| 样品反射率 | 10％~100％ |
| 光瞳调焦范围 | ±1000mm |
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