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光学检测仪和激光干涉仪
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HM150L立式球面干涉仪是在Hi-Marc150QLZ干涉仪基础上全方位升级的一款计量级干涉仪、仪器从基础款的手动调节升级为XYZ轴电控调节、相机分辨率由原先1K×1K升级至2K×2K（可选4K×4K），并与国内知名厂家合作增加了主动气浮隔振。使得HM150L立式球面干涉仪在测量精度、抗振型、位移调节有了进一步提升。
仪器规格参数表：
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光源 |
稳频氦氖激光λ=632.8nm |
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类型 |
索菲型干涉仪 |
| 标准镜头 |
F0.8、F1.1、F1.5、F2.2、F3.3、F5.0、F7.0、F11、F15 |
| 镜头精度 |
λ/15、λ/20 |
| 导轨有效行程 | 1000mm |
| 仪器有效口径 |
Φ150mm |
| 尺寸 | 1200mm×1000mm×2050mm |
| 重量 | 500Kg |
| 电源 | 220V 50Hz |
| 测试软件 | 英特飞大口径球面拼接软件 |
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