南京英特飞光电技术有限公司-Hi-Marc300W型激光干涉仪

英特飞产品分类
INTERFERO PRODUCTS

Hi-Marc300W型激光干涉仪

主要特点：

Hi-Marc300W型激光干涉仪是大口径计量级卧式干涉设备，有效通光口径达300mm，基于菲索型干涉原理设计。仪器采用稳频激光光源与高分辨率成像检测系统，配备高精度电控调整架与气浮隔振模块，具备优异的测量重复性与抗干扰能力，可实现大口径平面、球面光学元件的面形精度检测，广泛应用于大型光学系统、光学镜片生产的研发与质量检测环节。

1.平面面形精度、均匀度和平行度测量；激光棒的测量
2.平面参考面面形精度：λ/20
3.适用于工厂、研究院和高校等对光学元件的高精度检测
4.采用光、机、电、算结合的系统软件，可打印检测报告

仪器规格参数表：

光源	进口氦氖激光器波长λ=632.8nm
类型	菲索型干涉仪
有效光束直径	φ=300mm
显示	22寸液晶显示器
精度	平面PV优于λ/20、RMS优于λ/10000
测试参数	峰谷值PV/标准方差RMS、波前梯度均方根GRMS、功率谱密度PSD、Zernike多项式系数、Seidel像差系数、点列图、点扩散函数PSF、调制传递函数MTF等
倍率	1-6倍
电源	220V 50Hz
可选附件	英特飞移相式数据处理软件

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