光学检测仪和激光干涉仪
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Bysco300-LiS是用于建立超高精度平面基准真空液面干涉仪,配合外围环境控制系统以消除温度波动、振动驻波、气流扰动,绝对测量精度0.7nm(rms),标准透射平晶的面形精度13nm(λ/50,PV)。
仪器规格参数表:
RMS简单重复性
1.2m×1m×2m
2K×2K或4K×4K
苏公网安备 32010202010164号