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光学检测仪和激光干涉仪

Bysco300-Lis 真空液面基准干涉仪

        Bysco300-LiS是用于建立超高精度平面基准真空液面干涉仪,配合外围环境控制系统以消除温度波动、振动驻波、气流扰动,绝对测量精度0.7nm(rms),标准透射平晶的面形精度13nm(λ/50,PV)。


仪器规格参数表


光束口径 Φ320mm
有效口径 Φ300mm
工作波长 632.8nm
标准器(TF/RF) PV≤λ/40

RMS简单重复性

0.03nm
RMS波前重复性 0.35nm
尺寸

1.2m×1m×2m

分辨率

2K×2K或4K×4K

苏公网安备 32010202010164号