Bysco300L亚纳米级立式平面干涉仪是一款超精度平面干涉仪，主要用于大口径平面、晶圆与平行平板的面形测试，其标准透射平晶的平面度最高可达13nm（PV），量值传递于液面基准。

         Bysco300可选用2K×2K或4K×4K像素的高分辨率CCD、波长调谐激光器、短相干激光器、PTI抗振算法、全电操控、远程操控等升级配置，获得超高分辨率、超高精度的测量结果。

仪器规格参数表：