Vysta系列高精度立式球面干涉仪是一款主要用于大球面测量的计量级高精度干涉仪,可进行平面、球面与非球面的面形测试,亦可配置激光测距传感器实现高精度曲率半径测量。
Vysta的主机可选用2K×2K或4K×4K像素的高分辨率CCD、波长调谐激光器、短相干激光器、PTI抗振算法、全电操控、远程操控等升级配置,获得超高分辨率、超高精度的测量结果。可选CGH平台,实现非球面测量。
仪器规格参数表:
| 有效口径 |
Φ300mm |
| 光源 | 稳频氦氖激光器/波长调谐激光器/短相干激光器 |
| 标准器 | 标准平晶、定制球面镜头 |
| 平面标准器精度 |
λ/30 |
| 导轨行程 | ≥1000mm |
| 尺寸 | 2.4m×2m×3.4m |
| 质量 | 6000Kg |
| 可选附件 | 全电控操作、远程操控、多路激光测距、CGH调整架、PTI抗振软件、大口径球面拼接软件等 |
| 环境要求 | 振动VC-D、温度20℃±0.1℃ |
| 标准镜头 | F0.82、F1.20、F2.45、F11.6 |