光学检测仪和激光干涉仪
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INTERFERO PRODUCTS
软梯式吊带悬挂：有效隔振，抑制自重导致的形变
标准透射平晶（TF）：均匀性好，低膨胀采用熔石英材料，采用环抛+小磨头/磁流变/离子束抛光技术
面形质量：PV≤53nm
苏公网安备 32010202010164号
