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光学检测仪和激光干涉仪
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Bysco600干涉仪是一款采用Bysco主机+高精度扩束系统的大型检测仪器。仪器采用波长移相并兼容PZT移相模式及偏振移相，光源从可见光到红外光及短相干光源可选。目前已经向国外多家科研院所、大型光学企业交付用于研发与产品检测。
仪器规格参数表：
Φ600mm
PV≤λ/12，RMS≤λ/70
≤λ/10
≥5m
≥ ±0.5°
1K×1K~4K×4K
仪器有效口径
工作波长
632.8nm
标准器（TF/RF）
空腔精度
简单重复性
优于λ/10000（RMS）
仪器干涉腔长范围
对准视场角
光学变倍
1×~6×
CCD空间采样分辨率
MST多表面测量功能
最小测量薄平板厚度0.5mm
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