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光学检测仪和激光干涉仪
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主要特点：
HM-450W卧式激光干涉仪属于超大口径卧式干涉检测设备，有效通光口径为450mm，采用菲索型干涉原理与多波长移相技术，兼容PZT移相及偏振移相模式，仪器配备长行程电控调整机构与主动隔振系统，空腔精度与重复性达到计量级标准，可对超大口径光学元件进行面形、波前误差等关键参数检测。
仪器规格参数表：
| 光路结构 | 卧式菲索系统 |
| 有效口径 | ≥450mm |
| 光源 | 氦氖激光器λ=632.8nm |
| 相机分辨率 | 2K×2K |
| 移相方式 | PZT移相 |
| 石英标准镜 | PV优于λ/20 |
| RMS简单重复性 | ≤λ/8000 |
| 附件 | PTI抗振移相模块 |
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