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光学检测仪和激光干涉仪
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该仪器调整方便，特别适用于小平面、球面在线快速检测
主要特点：
1.调整架XY轴调节范围10mm（+/-5mm）Z轴调节范围130mm
2.平面参考面形精度：λ/20
3.球面参考面形精度：λ/10 λ/20
仪器规格参数表：
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光源 |
半导体激光器 波长λ=635nm（激光器保修1.5年） |
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类型 |
菲索型干涉仪 |
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有效光束直径 |
φ=25.4mm |
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显示 |
15寸液晶监视器 |
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选配镜头 |
F/# 0.6、0.7、1.0、1.5、2.0、3.0、5.0、平面镜 |
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尺寸 |
260×160×300mm |
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重量 |
6.5Kg |
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电源 |
220V 50Hz |
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可选附件 |
英特飞移相式数据测试软件（Sword版） |
南京英特飞光电技术有限公司
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