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球面干涉测量
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球面干涉测量
12-15
2022
球面干涉测量
斐索激光干涉仪原理为等厚干涉:单色光束入射到标准镜,部分反射为参考光束,部分透射并通过被测件的为检测光束。检测光束自准...
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