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光学检测仪和激光干涉仪
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3.平面参考面面形精度：λ/10、λ/20 可选
仪器规格参数表：
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光源 |
进口氦氖激光器 波长λ=632.8nm |
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类型 |
菲索型干涉仪 |
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有效光束直径 |
φ=300mm |
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显示 |
1024×1024高分辨率、低噪音CCD、22寸液晶显示器 |
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精度 |
平面PV优于λ/10 |
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倍率 |
1-6倍 |
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尺寸 |
工作腔尺寸：440×440×265mm，外形尺寸：1100×810×1630mm |
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电源 |
220V 55Hz |
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可选附件 |
英特飞移相式数据处理软件 |
南京英特飞光电技术有限公司
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