PhaseOne移相干涉仪测试软件包含了移相器件的通讯与控制、多幅干涉图像采集、相位复原、相位解包、波面数字指标提取、波面二维等值图与三维立体图的显示等一系列过程。

    测试参数包括峰谷值PV、标准方差RMS、波前梯度均方根GRMS、功率谱密度PSD、Zernike多项式系数，Seidel像差系数、点列图、点扩散函数PSF、调制传递函数MTF等。