相移干涉测量软件PhaseSight是新一代64位集成软件包,可以配合多种相移干涉仪使用,现支持传统的PZT移相、波长调谐移相、偏振同步移相与垂直扫描干涉法(VSI)四种模式。
软件的主要功能是操控设备的硬件,采集多幅干涉图,进行相位复原、解包和数值指标提取等一系列算法工作,可以快速复原波前并给出特定的测量结果。
软件现支持相机多种分辨率,有1K,2K,4K等。
软件具备以下分析功能:Zernike多项式系数(4项、9项、16项、25项与36项)、峰谷值(PV)、标准偏差(RMS)、Seidel系数、不规则度、功率谱密度(PSD)、光学传递函数(MTF)、斜率误差(Slope Error)、平行差及楔角测量(Angle Measurement)等;