一、前言

平行平板玻璃是指两个表面是平面且互相平行的玻璃板（外观如图1所示）,其是常用的光学元件,例如,分划板、保护玻璃﹑滤光片、干涉仪的分光镜、补偿镜等。平行性误差不仅会影响光学系统的光学性能,还影响光学系统的成像质量，所以很有必要对平行平板光学元件进行平行性检测。

图1 平行平板元件

二、测量方法

由于平行平板光学元件存在平行性误差角θ,因此,光束分别在两个表面反射时,将形成两个分开的反射光束。利用这两个分开的光束之间的角距离可以测量出平行性误差θ。常见的平行性测量方法主要有双像法、干涉法。干涉法可以细分成等厚干涉、等倾干涉以及干涉仪检测等。

如今最常用的方法当属干涉仪检测法（如图2所示）。当被测平行平板的口径为D1,所得的干涉条纹数为N1,则条纹间隔b1=D1/N1,而干涉仪的口径为D2,其上所得的干涉条纹数为N2,则条纹间隔b2=D2/N2,被测平行平板的折射率n=1.5,干涉光波长λ=0.6328um,则有平行平板玻璃的平行性为θ：（b1、b2单位为mm）

图2 平行平板测量原理