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光学检测仪和激光干涉仪

勒让德多项式

一、基本定义及性质


勒让德多项式是表述矩形表面和口径的一组多项式集合,其优点是在矩形区域内具有正交性,它的数学描述如下:

      

式中,,cn代表其各项系数。从图像上看,它是一个类似正弦函数的波动函数,下图为几个低阶的勒让德多项式:


性质(一):正交性

     该多项式在[-1,1]的矩形区域内正交:


性质(二):奇偶性

     n为偶数时Pn(x)为偶函数,n为奇数时Pn(x)为奇函数,奇偶性成立:


二、主要用途


通常情况下,在干涉检测中常用泽尼克多项式作为面形拟合函数,它是一种仅在圆形光瞳上正交的序列函数,但却不适用于柱面镜面形或方形镜面形的面形拟合,而勒让德多项式是一组可在[-1,1]的矩形区域上正交的序列函数,它的这种正交性满足了柱面或矩形对称区域的特点,故可以用勒让德多项式来对柱面镜面方形镜面等进行面形拟合。



三、我司在勒让德多项式方面的研究成果

 

目前我司常用的有两款干涉测量软件,分别是相移干涉测量软件PhaseSightSwordPro移相干涉测试软件。PhaseSight是一代64位集成软件包,可配合多种相移干涉仪使用,现支持传统的PZT移相、波长调谐移相和偏振同步移相三种模式;SwordPro是本公司开发的PSI移相干涉测试软件的全新升级版,其支持两种移相驱动方式和多种图像采集方式。

      两款软件均功能多样,操作简单实用,测量结果精确,都可通过勒让德多项式对测量数据进行波面拟合,适用于不同口径的矩形、方形、柱面形等元件的高精度透射、反射及面形的测量。

测量方形元件时,干涉测量软件能够通过勒让德多项式对测量数据进行面形拟合。通过拟合前后结果对比分析,我们可以得知,利用勒让德多项式拟合的面型比较完美的符合被测方形元件的面型,其面型检测指标PV值、RMS值等也均符合要求。

我司在勒让德多项式方面的研究于国内首屈一指,其拟合结果不仅能够精确到小数点后六位之多,其系数数值的准确度更与ZYGO保持一致。同时,其软件运算速度更是ZYGO软件的2倍有余,运算结果精确、运算速度更快。


      此外,勒让德多项式还可以与赛德像差对应,如多项式的第二项和第三项(L1和L2)代表倾斜项,第四项和第六项(L3和L5)代表离焦项等。它为有选择的单独处理各像差系数,优化系统性能提供了有效方法。



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