南京英特飞光电技术有限公司-如何解读ISO 10110-5

如何解读ISO 10110-5

一、什么是ISO 10110-5

ISO 10110-5全名为《光学和光学仪器—光学元件和系统的图形制备—第5部分:表面形状公差》，是ISO 10110系列的一部分。该部分在用于制造和检验的技术图纸中规定了光学元件和光学系统的设计和功能要求，规定了指示表面形状偏差公差的规则，适用于平面、球面、非球面、圆形和非圆形圆柱、复曲面以及其他非球面的表面—球形形状，如通常描述的表面。它不适用于衍射表面、菲涅耳表面和微光学表面。

二、ISO 10110-5指标

1、3/A(B/C)：

ISO形式SAG、IRR和RSI。国家标准面型偏差包括三项：为光圈数，为像散偏差，为局部偏差。ISO 10110-5面型偏差为如下所示的三种形式之一：3/A(B/C)，3/A(B/C)RMSx<D（此处x代表字母t，i或a），3/-RMSx<D（此处x代表字母t，i或a），式中编号“3”是面型偏差的代码，A为弧矢差（对应Zygo设备测试中的SAG），B为不规则度（对应Zygo设备测试中的IRR），C为旋转对称不规则度（对应Zygo设备测试中的RSI），RMSt为均方根总偏差，RMSi为均方根不规则度，RMSa为均方根不对称性，短划线（-）表示没有明确给出该项偏差的要求，如3/-(1/0.5)。

2、SAG：

弧矢差，是被测光学表面的曲率半径与参考表面的曲率半径之差。当我们计算其值时，可能会遇到两种情况：一种是根据弧矢差计算被测零件的半径误差，另一种是根据测量半径计算弧矢差。前者主要是用来计算被测零件的半径误差，当我们计算SAG值时主要用后者，此时我们就能够根据设计半径、测量半径以及零件直径的值来计算出SAG值。

3、IRR：

不规则度，它是标称球面（检测面）偏离球面的量度，是指在去除矢状面误差后仍然存在的表面形状误差的公差。

4、RSI：

旋转对称不规则度，若表面是旋转对称的，但却不是想要的形状，即存在旋转对称不规则度，它是在减去最佳拟合球后，对表面形式误差的旋转对称分量的公差，是近似非球面表面（AAS）的PV。

5、RMSt：

均方根总偏差，它是被测光学表面与标称理论球面之间的均方根偏差。

6、RMSi：

均方根不规则度，它是被测光学表面与拟合球面之间的均方根偏差。

7、RMSa：

均方根不对称性，它是被测光学表面与拟合非球面之间的均方根偏差。

三、竞争优势

目前本公司主要有两款干涉测量软件，分别是相移干涉测量软件PhaseSight和SwordPro移相干涉测试软件。当我们对一个元件进行测量时，通过对数据进行分析后，两款测试软件均能得到ISO 10110-5的指标数据，同Zygo相比，其软件操作简单，结果显示更加直接，同时，它们的计算结果均能精确到小数点后两位且与Zygo计算结果一致。