光学检测仪和激光干涉仪
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INTERFERO PRODUCTS
主要特点:
1.平面面形测量(非镀膜表面、高反射率镀膜表面)
2.棱镜条大面面形测量
3.微棱镜大面面形测量
仪器规格参数表:
光源
半导体激光器 波长λ=635nm(激光器保修1.5年)
干涉仪主口径
φ=60mm
有效测量口径
椭圆长轴120mm、短轴60mm
光学质量
λ/10(平面系统 95%口径 P-V)
测量重复性
PV优于λ/50,RMS优于λ/100
尺寸
940×720×910mm
重量
80Kg
电源
220V 55Hz
数据分析
英特飞移相式数据处理软件
苏公网安备 32010202010164号