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光学检测仪和激光干涉仪
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该仪器调整方便，特别适用于小平面、球面在线快速检测
主要特点：
1.调整架XY轴调节范围10mm（+/-5mm）Z轴调节范围520mm
2.平面参考面形精度：λ/20
3.球面参考面形精度：λ/10 λ/20
4.自带隔振器
仪器规格参数表：
光源
半导体激光器 波长λ=635nm（激光器保修1.5年）
类型
菲索型干涉仪
有效光束直径
φ=60mm
显示
15寸液晶监视器
选配镜头
F/# 0.6、0.7、1.0、1.5、2.0、2.8、5.0、8.0、平面镜
尺寸
500×300×920mm
重量
77Kg
电源
220V 55Hz
可选附件
光栅测长系统、在线式数字条纹分析系统、平面二维架
南京英特飞光电技术有限公司
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