南京英特飞光电技术有限公司-Bysco100

英特飞产品分类
INTERFERO PRODUCTS

Bysco 100卧式激光干涉仪适用于高精度计量检测、超大口径干涉仪的小端口主机等应用场合，可对平晶、透镜面形精度、均匀度和平行度的测量以及激光棒的测量。

仪器规格参数表：

类型	菲索型干涉仪
光源	氦氖激光器λ=632.8nm/波长调谐激光器
测量口径	φ=100mm
移相方式	标配PZT移相、可选波长调谐、偏振移相
相机分辨率	1K、2K、4K可选
灰度等级	8Bit、12Bit
测量精度	平面PV优于λ/20，球面PV优于λ/15
RMS重复性	<λ/5000
有效显示倍率	1-6倍
可选附件	移相式数据分析处理软件、光学气浮平台、五维调节架及三爪、标准镜头