南京英特飞光电技术有限公司-Bysco100+150扩束器

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INTERFERO PRODUCTS

Bysco 100干涉仪搭配扩束器可将测试口径扩大到150mm，有效拓展了测量范围，增加了应用场景，可对平晶、透镜面形精度、均匀度和平行度的测量以及激光棒的测量。

仪器规格参数表：

类型	菲索型干涉仪
光源	氦氖激光器λ=632.8nm/波长调谐激光器
测量口径	φ=150mm
移相方式	标配PZT移相、可选波长调谐、偏振移相
相机分辨率	1K、2K、4K可选
灰度等级	8Bit、12Bit
测量精度	平面PV优于λ/20，球面PV优于λ/15
RMS重复性	<λ/5000
有效显示倍率	1-6倍
可选附件	移相式数据分析处理软件、光学气浮平台、五维调节架及三爪、标准镜头