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光学检测仪和激光干涉仪

朗奇(Ronchi)检验法

一、简介


朗奇检验法是评价和测量一个光学系统像差的最简单、最有效的方法之一。该方法的步骤是将低频衍射光栅(小于50线对/mm)置于被检验透镜焦点附近,由产生的不同衍射级次之间的干涉条纹形状来评定透镜的质量。朗奇检验的特点是简单,快速,成本低,不受被检验元件口径限制。光学界将这种光栅检验方法命名为“朗奇检验”,这种光栅成为“朗奇光栅”,所得到的检验图形称为“朗奇图形”。以下介绍其几何原理。


二、几何原理


朗奇检验法实际上是直接测量横向像差TA的方法,如图1所示。其何原理是把条纹看做是光栅的阴影。被检光学系统出射光瞳上的波像差为:


 

将上式改为通用形式,可得:


式中,r为出射光瞳或者被测试的表面到朗奇光栅的距离。

如果光栅的离焦量比较小,则该距离可以近似地表示为波前的曲率半径。因此,假定一个朗奇光栅的刻线间距为d,则通常可以式(3)表示第m个条纹的点(xy):


其中,假定朗奇光栅刻线与y轴之间的夹角为φ,如图2示。


1 朗奇检验法


2 波前和光栅刻线的方向关系


三、初级像差的朗奇图


1.离焦:


3 带离焦的朗奇图样:a)点外部b)焦点上,c)焦点内部

2.球差:


4 带球差的朗奇图 a)近轴焦点 b)近轴和边缘焦点之间

      c)边缘焦点 d)焦点之外

3.彗差:


5 具有彗差的朗奇图

 

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